Technische Daten & Bedienungsanleitung
Englisch · 31 Seiten · PDF · 1.3 MB
Handbuch herunterladen ↓HOCHSPANNUNGSNETZTEIL FÜR ELEKTRONENKANONEN
ADSP-HV80+
ADSP-HV80+ — ein Mehrkanal-Hochspannungsnetzteil mit Filamentversorgung für ausgewählte HITACHI CD-SEM-Systeme.
< ±0.02%AusgangsgenauigkeitNach Aufwärmen, bezogen auf den Sollwert
<40 mVAusgangswelligkeitSpitze-Spitze
0–2.85 AFilamentversorgungKonstantstromausgang
Technische Daten
Quelle: Handbuch V2609E07 mit vom Hersteller bestätigten Korrekturen.
V00 → −3 kV1,000 μA max.
V10 → +2 kV1,000 μA max.
V20 → +4.68 kV670 μA max.
Vs0 → −3.7 kV1,000 μA max.
| Netzeingang | 100–230 V AC · einphasig · 50/60 Hz · 40 W |
|---|---|
| Ausgangsgenauigkeit | < ±0,02 % des Sollwerts, nach Aufwärmen |
| Ausgangswelligkeit | < 40 mV (p-p) |
| Filamentversorgung | 0–2,85 A DC · Konstantstrom |
| Abmessungen (T × B × H) | 435 × 230 × 165 mm |
| Gewicht | ca. 6,5 kg Gerät / ca. 8,3 kg mit HV-Kabel und Steckverbinder |
Alle technischen Daten
| Temperaturkoeffizient | < 0.01% / °C |
|---|---|
| Filamentstromgenauigkeit | < ±0,2 % des Sollwerts, nach Aufwärmen |
| Kommunikation | RS-232 · DB25F · optisch isoliert |
| Schutzfunktionen | Überlast, Kurzschluss, Vakuumverriegelung; If > 3 A; Ie > 511 μA |
| Hochspannungskabel | 2,2 m · geschirmt · fünf HV-Leitungen plus separate Erdleitung |
| Kabelaufbau | PVC-Außenmantel des Kabelbündels; Silikon-Außenmantel jeder der fünf HV-Einzelleitungen |
| Betriebsbedingungen | Innenräume · 15–30 °C · 35–50 % relative Feuchte, nicht kondensierend |
| Gehäuseschutzart | IP20 |
| Kühlung | Lüfter; mindestens 50 mm Freiraum seitlich und oben empfohlen |
Kompatible Systeme
Integrierte V1/V2-Kennlinien unterstützen die folgenden Anlagenmodelle. Nennen Sie uns Ihr Anlagenmodell und die Teilenummer der vorhandenen HV-Einheit, damit wir die benötigte Konfiguration bestätigen können.
S-8820S-8840S-9220S-9260S-9300S-9380CG4000*
* CG4000 erfordert ein separates Software-Upgrade-Paket.
Schnittstellen & Integration
Optisch isolierte RS-232-Schnittstelle (DB25F), Vakuumverriegelung LINK und spezieller Hochspannungsstecker. Der Netzanschluss hängt von der Anlagenserie ab; für S-92XX und S-93XX wird ein Adapterkabel mitgeliefert.
Im Handbuch genannte Ersatzanwendungen
567-5101 · 560-6590 · 569-6592
Handbuch & Videos
Anwendungsvideos
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Über ADsemtech
ADsemtech electronics GmbH · Dresden, Germany
Die 2018 gegründete ADsemtech electronics GmbH ist auf die Entwicklung von Upgrade- und Ersatzkomponenten für ältere Halbleiteranlagen sowie auf die Überholung und Reparatur von Komponenten spezialisiert.
Unser technisches Kernteam verfügt über mehr als 25 Jahre Erfahrung in diesem Bereich.
Technische Anfrage
Nennen Sie uns Anlagenmodell, Teilenummer der vorhandenen HV-Einheit und Ihre Anforderungen.
sales@adsemtech.deADsemtech electronics GmbHNanoelektronik Zentrum Dresden
Maria-Reiche-Straße 1
01109 Dresden · Germany
Für den professionellen Einsatz. Installation nur durch qualifiziertes Fachpersonal. Handbuch und angegebene Betriebsbedingungen beachten.